الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة

أنظمة كهروميكانيكية دقيقة مُعدَّة باستخدام عمليات التصنيع الدقيق. تتألف هذه الأنظمة من معدات دقيقة مثل أجهزة الاستشعار والمشغلات والبُنى والإلكترونيات. يمكن استخدام الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة في مجموعة من الأجهزة، مثل رؤوس الطابعات نافثات الحبر، والمعالجات الضوئية الرقمية، والجيروسكوب في الهواتف الذكية، ومقاييس التسارع في الوسائد الهوائية، والميكروفونات المصغرة.