جمع النظم الكهروميكانيكية الصغرى

تكوين النُّظُم الكهروميكانيكية الصغرى باستخدام المجاهر والملاقط والروبوتات التي تحمل الأشياء وتنقلها من مكان آخر. قطع الطبقات التحتية من رقائق مفردة وربط المكونات بسطح الرقاقة بواسطة تقنيات اللحام والربط، مثل اللحام التصلبي والربط بالسليكون المنصهر. ربط الأسلاك باستخدام التقنيات الخاصة لربط الأسلاك، مثل الربط بالضغط الحراري، وغلق النظام أو الجهاز بإحكام باستخدام تقنيات الغلق الميكانيكية أو القشور الدقيقة. غلق النظم الكهروميكانيكية الصغرى وتغليفها في فراغ.